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產(chǎn)品資料

成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)

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產(chǎn)品名稱: 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)
產(chǎn)品型號(hào): CR6300
產(chǎn)品展商: 日本日立HITACHI
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測設(shè)備CR6300(Defect Review SEM) 運(yùn)用ADR和高精度ADC來為提高良率做貢獻(xiàn)的Inline缺陷觀測SEM。 成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)


成都西野供應(yīng)日本日立HITACHI高速缺陷觀測設(shè)備CR6300(Defect Review SEM)  的詳細(xì)介紹

特長

  • 高畫質(zhì),高對此,高解析度SEM圖像
  • 高速缺陷攝像(ADR)
  • 人性化的GUI
<選項(xiàng)>
  • 自動(dòng)缺陷分類(ADC)
  • Bare wafer自動(dòng)觀測
  • 檢查制程說明書(iPQ)
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